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USD608787S1 · kind S1 · design

Assignees

• Carl Zeiss Micromanaging GmbH · DE
• Fraunhofer-Gesellschaft zur förderung der angewandten Forschung e.V. · DE

Inventors

• Christopher Power · Jena, DE
• Markus Turber · Lenting, DE
• Daniel Mauch · Munich, DE
• Bernhard Goetze · Jena, DE
• Fabian Hermann · Herrenberg, DE
• Frank Hecht · Weimar, DE
• Joerg Engel · Triebes, DE
• Steffen Suepple · Stuttgart, DE
• Stefan Brandys · Stuttgart, DE

Key dates

• Filing date: Apr 14, 2008
• Grant date: Jan 26, 2010
• Expiry date: Jan 26, 2024

Classification

• Technology area (CPC —): General